多晶硅是太阳能光伏板的主要涂层材料。在多晶硅制备中,利用超声波声化学的分散作用,进行清洗晶片和分散悬浮液。
通过超声波在液体中产生的空化作用,能够有效去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质等污染物,同时不破坏晶片表面的特性。此外,超声波分散技术还能够加速固体颗粒在液体中的分散,提高分散效率。
超声波分散技术在多晶硅制备中的应用主要体现在以下几个方面:
晶片清洗:多晶硅超声波清洗机用于半导体晶片的清洗,可以有效去除晶片表面的污染物,保证晶片的纯净度。
悬浮液分散:在制备多晶硅的过程中,常常需要使用悬浮液,超声波分散技术能够提高悬浮液中固体颗粒的分散效率,确保反应的均匀性和效率。
超声波分散技术的原理是通过超声波换能器将电能转换为机械能,从而在液体中产生空化作用。这种空化作用包括气泡的产生、增长、压缩和崩溃,形成高温高压的环境,从而实现对颗粒的分散和提取。
综上所述,超声波分散技术在多晶硅制备中的应用不仅提高了生产效率和产品质量,还降低了成本,是现代半导体制造中不可或缺的技术手段之一。生产线设计中,往往采用管道式声化学处理系统。