超声波喷涂系统已被证明适用于需要均匀、可重复的光刻胶或聚酰亚胺薄膜涂层的各种应用。通过控制从亚微米到 100 微米以上的厚度并能够涂覆任何形状或尺寸，涂层系统是旋转和传统喷涂等其他涂层技术的可行替代方案。
聚酰亚胺和光刻胶涂层的常见应用包括但不限于MEMS、镜头、微流体设备、微电子和过滤器。涂层系统能够在平面和 3D 基板上进行涂层，通常包括硅晶片、玻璃、陶瓷和金属。
超声波喷涂是一种简单、经济且可重复的光刻胶和聚酰亚胺涂层工艺。超声波镀膜系统可以使用简单的分层技术精确控制流速、镀膜速度和沉积量。低速喷雾成型将雾化喷雾定义为精确、可控的图案，避免过度喷涂，同时产生非常薄、均匀的层。
超声波聚酰亚胺和光刻胶涂层的优势：
- 各种表面轮廓的均匀薄膜覆盖。
- 化学和涂层性能的高度灵活性。
- 无堵塞雾化喷雾。
- 传输效率高，浪费极少。
- 高度可重复的成熟喷涂工艺。
超声波喷涂系统使用高频声音振动产生由数学定义的液滴组成的柔和雾气。消除了堵塞，因为没有使用压力来产生喷雾，并且液滴具有非常窄的液滴分布尺寸，进一步有助于沉积层的均匀性。
