均匀的薄膜氧化铟锡 (ITO)、铝掺杂氧化锌 (AZO)、氧化锌 (ZnO) 和氟掺杂氧化层通常使用超声波喷雾热解技术产生。这种独特的工艺需要专门的涂层设备来创建必要的涂层厚度和形态，在高温环境中喷涂腐蚀性溶液。
在高温超声喷雾热解过程中，前体溶液（例如铝锌氧化物）被喷涂到加热到大约 300-500℃的基材上。溶剂在运输过程中蒸发，ZnO结晶膜生长在基板表面，通常是钠钙或其他玻璃。基材温度通常决定了薄膜的形态特征。
超声波喷雾湿法沉积为制造商提供了一种成本效益高的真空沉积和溅射替代方案，具有更高的转移效率。超声波雾化喷头产生的液滴尺寸高度均匀，可以实现最佳尺寸的液滴进行热解反应，并且在沉积过程中所有液滴将以相同的方式同时反应。无论是研发还是大批量生产，这都会带来高效的TCO生产流程。
使用FUNSONIC超声波喷头克服了喷涂高腐蚀性酸的工艺挑战，该喷头采用耐腐蚀的结构材料制成，具有无堵塞、可重复、长寿命的性能，甚至可以喷涂高腐蚀性的盐酸或氢氟酸溶液。
用于 TCO 涂层的超声波喷雾热解系统的优势：
- 与 CVD（化学气相沉积）工艺相比，超声波喷雾热解简单、灵活且具有成本效益。
- 久经考验的 TCO 涂层专业知识。
- 与其他喷涂方法相比，超声波喷嘴可沉积更均匀的层。
- 易于调整和可重复的涂层参数。
- 完全集成专利超声波喷头技术和液体输送，提供完整的涂层解决方案。
替代的低温喷雾热解（250 摄氏度及以下）工艺不断涌现，对不需要高温目标基材的化学物质进行了更多的研究和开发。
